关键材料
高端 CMP 抛光垫
围绕半导体抛光材料,探索高端软垫本体亲水结构与一体化成型工艺,也推进大尺寸硬垫的延迟凝胶浇注、界面匹配和硬弹协同。
- 材料结构与作用机理设计
- 熔融纺丝、梯度牵伸、表面活化与成型工艺
- 面向晶圆平坦化需求开展制造与应用验证
从半导体关键材料切入,连接材料研发、智能工具、工程验证与产业协同。

四个方向沿着同一条研发链路展开:以材料问题定义研发目标,用数据和模型辅助探索,以实验和制造验证结果,再把方法与能力带到更多产业场景。
关键材料
围绕半导体抛光材料,探索高端软垫本体亲水结构与一体化成型工艺,也推进大尺寸硬垫的延迟凝胶浇注、界面匹配和硬弹协同。
研发方法
把结构、配方、工艺、性能与实验记录放入统一研究语境,让科学模型和数据分析辅助研究判断,实验结果继续校准下一轮探索。
研发工具
围绕材料数据库、研发工具、计算与算力调度、数据安全和工程验证,规划支持材料研发全周期的工具体系。
产业协同
围绕真实材料问题连接企业、高校、科研机构、地方产业资源和工程制造能力,协同推进研发、验证与应用。
以高分子材料为共性底座,面向半导体、生物医药、新能源、具身智能与军工装备等应用场景,探索材料性能、工艺条件和实际需求之间的匹配关系。
先把关键材料做深,再积累研发闭环和工程验证能力,逐步连接更多材料方向与产业集群。
从真实需求定义性能目标,聚焦关键材料配方、结构与制程窗口。
沉淀材料数据与实验结果,让模型辅助筛选、设计和下一轮验证。
连接实验室、中试和制造条件,在真实工艺中检验稳定性与适配性。
汇集企业、高校、科研与区域伙伴,让验证经验持续回到材料迭代并拓展应用。